Strona tytułowa

POLITECHNIKA WARSZAWSKA

WYDZIAŁ MECHANIKI PRECYZYJNEJ INSTYTUT METROLOGII I BUDOWY PRZYRZĄDÓW POMIAROWYCH

mgr inż. Janusz BRYZEK

METODA KOMPENSACJI WPŁYWU TEMPERATURY W PÓŁPRZEWODNIKOWYCH PRZETWORNIKACH CISNIENIA

Praca doktorska

PROMOTOR PRACY doc. dr inż. Wojciech WŁODARSKI

WARSZAWA

1978

SPIS TRESCI

		str.
1.	Wstęp	5
1. 1.	Wprowadzenie	5
1. 2.	Cel i teza pracy	6
2.	Istota błędów temperaturowych	9
3.	Przegląd metod kompensacji wpływu temperatury z zastosowaniem obwodów kompensacji w analogowej części układu przetwarzającego	18
3. 1.	Wstęp	18
3. 2.	Metoda z zastosowaniem czujnika ciśnienia jako czujnika temperatury	18
3. 3.	Metody z zastosowaniem dyskretnych elementów o zmiennej rezystancji próbkujących temperaturę	20
3. 4.	Metody z zastosowaniem dyskretnych złączowych przyrządów półprzewodnikowych jako czujników temperatury	26
3. 5.	Metody z zastosowaniem scalonych elementów rezystancyjnych jako czujników temperatury	30
3. 6.	Metoda z zastosowaniem scalonych przyrządów półprzewodnikowych jako czujników temperatury	34
3. 7.	Podsumowanie	38
4.	Nowa metoda kompensacji błędów temperaturowych	38
4. 1.	Wprowadzenie	38
4. 2.	Warunki wystarczające kompensacji temperaturowej charakterystyki przetwarzania przetwornika	39
4. 3.	Istota pełnej kompensacji temperaturowej	43
4. 3. 1.	Synteza metody	43
4. 3. 2.	Procedura kompensacji	48
4. 3. 3.	Warunki wystarczające kompensacji temperaturowej pełnej	52
4. 4.	Istota niepełnej kompensacji temperaturowej	58
4. 4. 1.	Przypadek s = 2, m = 1, n = 1	58
4. 4. 2.	Przypadek s = 3, m = 1, n = 1	62
4. 4. 3.	Przypadek s = 3, m = 1, n = 2	65

		str.
4. 5.	Podsumowanie	69
5.	Realizacja praktyczna metody	72
5. 1.	Mostek trójkrotny	74
5. 2.	Zagadnienie wzajemnego uzależnienia kompensacji wartości początkowej i końcowej	76
6.	Zastosowanie nowej metody kompensacji w piezorezystancyjnym przetworniku ciśnienia	79
6. 1.	Wstęp	79
6. 2.	Wymagane parametry metrologiczne przetwornika	79
6. 3.	Czujnik	80
6. 3. 1.	Budowa	81
6. 3. 2.	Zródła błędów temperaturowych	82
6. 3. 3.	Dobór parametrów układu kompensacji temperaturowej	83
6. 4.	Układ elektroniczny przetwornika	88
6. 4. 1.	Układ blokowy	88
6. 4. 2.	Wybór czujników próbkujących temperaturę	90
6. 4. 3.	Optymalizacja charakterystyk mostka kompensującego dryft zera	92
6. 4. 4.	Optymalizacja charakterystyk mostka kompensującego dryft zakresu	96
6. 5.	Procedura kompensacji	100
6. 6.	Badania przetworników	102
6. 6. 1.	Układ pomiarowy	102
6. 6. 2.	Analiza błędów	103
6. 6. 3.	Wyniki badań	104
7.	Wnioski	108
8.	Bibliografia	111
9.	Dodatek	120
9. 1.	Opis programu optymalizującego charakterystyki mostka kompensującego dryft zera	120
9. 2.	Opis programu optymalizującego charakterystyki mostka kompensującego dryft zakresu	122

Pracę tę żonie mojej, Barbarze, poświęcam